Magnetometers based on anisotropic magnetoresistive (AMR) effect are lead in physical data, energy consumption and sensitivity. The idea of two-axis single-chip AMR transducer of magnetic field is promising. In this work, the two-axis single-chip anisotropic transducers of magnetic field based on Ni80Fe20 thin films with mixed anisotropy, developed for magnetometry navigation purposes, are considered. Their manufacturing technique and sensor characteristics studying results are described. The realized sensitivity on every axis is 1.58 mV/(Oe∙V) with be-ginning bridge unbalance ΔU = 20 mV.
Магнитометры, основанные на анизотропном магниторезистивном (АМР) эффекте, лидируют по массогабаритным характеристикам, энергопотреблению и чувствительности. Перспективна идея двухосевого АМР-преобразователя магнитного поля в однокристальном исполнении. В работе для целей магнитометрической навигации рассмотрены разработанные и изготовленные двухосевые однокристальные анизотропные преобразователи магнитного поля на основе тонких пленок Ni80Fe20 со смешанной анизотропией. Описана технология их изготовления и представлены результаты исследования характеристик преобразователей. Достигнутая чувствительность по каждой оси составляет 1,58 мВ/(Э∙В), начальный разбаланс моста ΔU = 20 мВ.